人工晶体学报 ›› 2025, Vol. 54 ›› Issue (6): 942-948.DOI: 10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2025.0027
朱丽涛1,2(), 刘磊3, 原帅1,2(
), 周声浪3, 张华利3, 汪晨3, 高宇4, 曹建伟4, 余学功1, 杨德仁1,2(
)
ZHU Litao1,2(), LIU Lei3, YUAN Shuai1,2(
), ZHOU Shenglang3, ZHANG Huali3, WANG Chen3, GAO Yu4, CAO Jianwei4, YU Xuegong1, YANG Deren1,2(
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摘要: 直拉单晶硅生长技术的发展促进了更大尺寸晶体的生产。目前,在重复拉晶过程中,单炉最后一根晶体的质量通常达到600~800 kg,已超过成熟技术中提拉钢缆的工程载荷上限。本文报道了设备改造中因增加提拉钢缆直径而引发的稳定性问题及其解决方案。研究发现,钢缆增粗后刚性增强,导致籽晶发生倾斜,进而在低负载时引发棱线偏移,在高负载时增加细颈断裂的风险。通过控制变量实验,本研究确认钢缆增粗后晶体生长稳定性的问题主要源于籽晶倾斜。此外,采用数值模拟方法进一步分析了籽晶倾斜所诱发的应力分布机制。最终,通过增加配重的方法,有效恢复了晶体生长的稳定性。
中图分类号: