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富加镓业氧化镓MOCVD同质外延技术取得突破,助力下游垂直功率电子器件产业落地
齐红基
Journal of Synthetic Crystals . 2025, (3): 532 -532 .  DOI: 10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2025.3003