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人工晶体学报 ›› 2002, Vol. 31 ›› Issue (6): 595-598.

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大直径FZSi中的微缺陷研究

张维连;赵红生;孙军生;张恩怀;陈洪建;高树良;刘涛;胡元庆;李颖辉;郭丽华   

  1. 河北工业大学半导体材料研究所,天津,300130;天津半导体材料厂,天津,300130
  • 出版日期:2002-12-15 发布日期:2021-01-20
  • 基金资助:
    河北省自然科学基金(101059)

Study on the Micro-defects in Large Size FZSi

  • Online:2002-12-15 Published:2021-01-20

摘要: 经过化学-机械抛光后,用常规的检验旋涡缺陷的方法没有观察到旋涡缺陷的FZSi片,用高温热氧化法有时则可以观察到明显的旋涡状分布的条纹图形.使用FTIR、XPS、 SEM能谱分析等手段的测量结果表明,这种旋涡状分布的图形与晶体中的掺杂剂(磷、硼)和杂质氧、碳以及重金属杂质没有明显的依赖关系,它是硅中点缺陷在晶体径向截面上呈不均匀条纹状分布的结果.本文对大直径FZSi中的旋涡缺陷的形成机理和消除方法进行了初步的探讨.

关键词: FZSi;旋涡缺陷;热对流;点缺陷

中图分类号: