液相外延法制备LiNbO3薄膜的研究和进展

人工晶体学报 ›› 2003, Vol. 32 ›› Issue (3): 196-203.

液相外延法制备LiNbO3薄膜的研究和进展

王海丽;徐军;赵广军

中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800

出版日期:2003-06-15 发布日期:2021-01-20

Research and Progress of LiNbO3 Thin Films Prepared by Liquid Phase Epitaxy

Online:2003-06-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 讨论了液相外延法制备LiNbO3薄膜过程中,衬底和助熔剂的选择对LiNbO3薄膜制备的影响及掺杂改性问题,简要地介绍了LiNbO3薄膜的一些性能及光学应用.研究表明,目前可用液相外延法在LiTaO3、掺镁(5mol;)的同成分LiNbO3及纯的同成分或近化学计量比LiNbO3单晶衬底上制备出具有较高光学质量的LiNbO3薄膜.讨论了液相外延法制备LiNbO3薄膜过程中存在的主要问题、发展前景及今后的研究方向.

中图分类号:

O782.9

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液相外延法制备LiNbO3薄膜的研究和进展

Research and Progress of LiNbO3 Thin Films Prepared by Liquid Phase Epitaxy

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