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人工晶体学报 ›› 2003, Vol. 32 ›› Issue (4): 361-365.

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以高性价比颗粒硅带为衬底多晶硅薄膜的二次引铝低温制备法

邱春文;石旺舟;王晓晶;周燕   

  1. 汕头大学物理系,汕头,515063;华东师范大学物理系,上海,200000;中国科学院广州能源研究所太阳能利用实验室,广州,510070
  • 出版日期:2003-08-15 发布日期:2021-01-20

Preparation of Polycrystalline Silicon Thin Films on Cheap Silicon Sheets from Powder Substrate by PECVD and Introducing Aluminum Twice

  • Online:2003-08-15 Published:2021-01-20

摘要: 本文报道了在廉价的颗粒硅带上用PECVD法并两次引入铝的工艺制备多晶硅薄膜.第一次引入铝是为了去除薄膜上过多的杂质;第二次引入铝是为了实现低温诱导结晶.通过对薄膜样品的拉曼谱和X射线衍射(XRD)谱分析,我们认为金属低温诱导结晶成功与否跟诱导前薄膜的结构密切相关.采用该工艺成功地制备了结晶度92;左右、可应用于太阳能电池的高纯优质多晶硅薄膜.

关键词: 多晶硅带衬底;多晶硅薄膜;等离子体化学气相沉积法;二次引铝;低温制备

中图分类号: