计算机控制CVD金刚石生长系统的研究

人工晶体学报 ›› 2003, Vol. 32 ›› Issue (6): 605-609.

计算机控制CVD金刚石生长系统的研究

朱胤;左敦稳;王珉;卢文状;宋胜利

南京航空航天大学机电学院,南京,210016

出版日期:2003-12-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家自然科学基金(50075039);国家自然科学基金(50275076);江苏省自然科学基金(JH01-014 CVD)

Research of Computer-controlled CVD Diamond Growth System

Online:2003-12-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 在CVD金刚石生长系统的基础上设计开发了计算机控制系统,对金刚石生长过程中各物理信号进行监测与控制,实现了无人值守下金刚石的生长.详细介绍了计算机控制的结构和软件实现方法.最后介绍了在计算机控制之下金刚石厚膜,纳米金刚石薄膜以及复合膜的生长.结果表明该系统运行稳定、可靠,控制效果明显优于人工控制,具有非常广泛的应用价值.

中图分类号:

TP273

朱胤;左敦稳;王珉;卢文状;宋胜利. 计算机控制CVD金刚石生长系统的研究[J]. 人工晶体学报, 2003, 32(6): 605-609.

[1]	黄鸣, 王维. 配合参数对单晶炉驱动系统的影响分析[J]. 人工晶体学报, 2022, 51(4): 594-599.
[2]	李建鸿;纪文刚;宋星;储承贵. 基于改进BP神经网络算法的激光晶体生长控制研究[J]. 人工晶体学报, 2019, 48(8): 1438-1444.
[3]	覃佐燕;庄志贤;武红磊;郑瑞生;王科. AlN晶体PVT生长装置的智能控制系统研究[J]. 人工晶体学报, 2018, 47(4): 770-776.
[4]	许力;鲁二峰;周峰. 基于建模与优化的MOCVD温度均匀控制[J]. 人工晶体学报, 2013, 42(6): 1175-1180.
[5]	韦永阁;陈英;张强;王昆;徐蕾. RGO-BiVO4复合材料的制备及其模拟太阳光光催化性能的研究[J]. 人工晶体学报, 2013, 42(6): 1192-1198.
[6]	张湘辉;汪灵;龙剑平. 直流弧光放电PCVD金刚石膜制备中基底控温系统的研制与应用[J]. 人工晶体学报, 2011, 40(1): 75-82.
[7]	王伟礼;毕见强;邢政;管培强;张政;孙凌云. 氯化铵对AACH热分解制备纳米α-Al2O3的影响[J]. 人工晶体学报, 2009, 38(2): 309-312.
[8]	孙军;孔勇发;李兵;张玲;刘士国;黄自恒;瓮松峰;舒永春;许京军. 等径控制系统的改进及在光学级铌酸锂生长中的应用[J]. 人工晶体学报, 2004, 33(3): 305-309.

计算机控制CVD金刚石生长系统的研究

Research of Computer-controlled CVD Diamond Growth System

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