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人工晶体学报 ›› 2004, Vol. 33 ›› Issue (2): 164-167.

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湿氧钝化CdSe(110)表面的XPS分析

罗政纯;朱世富;赵北君;王瑞林;陈松林;何知宇;李艺星;任锐   

  1. 四川大学材料科学系,成都,610064
  • 出版日期:2004-04-15 发布日期:2021-01-20
  • 基金资助:
    国家高技术研究发展计划(863计划)(2002AAA325010);四川省学术与技术带头人培养基金

XPS Analysis of Passivation (110) Surface of CdSe Oxidized at Oxydol

  • Online:2004-04-15 Published:2021-01-20

摘要: 用双氧水对CdSe单晶(110)表面进行钝化,采用X射线光电子能谱(XPS)分析了湿氧处理的CdSe(110)表面的化学特征.通过两次不同分析模式FAT(固定通能)和FRR(固定减速比)所得到的结果表明:CdSe表面出现Se偏析,表面上形成了SeOx(x<1),SeO、Cd(OH)2和CdCO3的高电阻稳定氧化层,消除了器件表面态,可以减少器件的表面漏电流和改善其信噪比.

关键词: CdSe单晶体;表面钝化;XPS

中图分类号: