在钛酸锶衬底上外延生长ZnO薄膜及其性能研究

人工晶体学报 ›› 2007, Vol. 36 ›› Issue (1): 106-109.

在钛酸锶衬底上外延生长ZnO薄膜及其性能研究

杨锡林;张连翰;邹军;何晓明;宋词;周圣明;杭寅

中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800

出版日期:2007-02-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家自然科学基金(60478023);国家自然科学基金(50532100)

Growth and Properties of ZnO Thin Film on (111)SrTiO3

YANG Xi-lin;ZHANG Lian-han;ZOU Jun;HE Xiao-ming;SONG Ci;ZHOU Sheng-ming;HANG Yin

Online:2007-02-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 用脉冲激光淀积法(PLD)在(111)面SrTiO3衬底上外延生长ZnO单晶薄膜.样品分别在衬底温度为350℃、500℃、600℃下外延生长.X射线衍射(XRD)的结果表明,所得的ZnO单晶薄膜结晶性能好,只出现(002)和(004)两个衍射峰,(002)峰的半高宽度(FWHM)为0.23°.在荧光光谱中我们只观察到来源于带边激子跃迁的强UV发射,并且随着生长温度的升高,紫外峰的强度逐渐增强.样品的SEM图像表明所得ZnO薄膜表面平整,晶粒均匀.衬底温度为600℃时,所得到的ZnO薄膜结构完整,晶粒尺寸最大,均匀;而且紫外发射最强.

中图分类号:

O484

杨锡林;张连翰;邹军;何晓明;宋词;周圣明;杭寅. 在钛酸锶衬底上外延生长ZnO薄膜及其性能研究[J]. 人工晶体学报, 2007, 36(1): 106-109.

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