用有限元模拟的方法研究大面积自支撑金刚石膜沉积过程中的热应力

人工晶体学报 ›› 2008, Vol. 37 ›› Issue (2): 345-349.

用有限元模拟的方法研究大面积自支撑金刚石膜沉积过程中的热应力

刘政;李成明;牛得草;唐伟忠;陈广超;宋建华;佟玉梅;吕反修

北京科技大学材料科学与工程学院,北京,100083

出版日期:2008-04-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家自然科学基金(50471090)

Thermal Stress Analysis of Large Area Free-standing Diamond Films Using Finite Element Method

LIU Zheng;LI Cheng-ming;NIU De-cao;TANG Wei-zhong;CHEN Guang-chao;SONG Jian-hua;TONG Yu-mei;LU Fan-xiu

Online:2008-04-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 建立了没有过渡层和有过渡层的有限元模型,对大面积自支撑金刚石膜沉积过程中的热应力进行了研究.分别计算了在常用金属材料钼、钨、镍作衬底和用镀有钛过渡层的钼作衬底的情况下,膜/衬底间的热应力分布情况.模拟与实验的结果表明,在大面积自支撑金刚石膜沉积过程中,采用镀有钛过渡层的钼作衬底有利于热应力的释放,从而可能制备出高质量的大面积无裂纹金刚石膜.

中图分类号:

O484

刘政;李成明;牛得草;唐伟忠;陈广超;宋建华;佟玉梅;吕反修. 用有限元模拟的方法研究大面积自支撑金刚石膜沉积过程中的热应力[J]. 人工晶体学报, 2008, 37(2): 345-349.

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