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人工晶体学报 ›› 2008, Vol. 37 ›› Issue (2): 422-426.

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LaNiO3缓冲层对化学溶液法制备的Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3薄膜的结构与电学性能的影响

刘爱云   

  1. 上海师范大学物理系,上海,200234
  • 出版日期:2008-04-15 发布日期:2021-01-20
  • 基金资助:
    上海市教委资助项目(07zz70);上海市高校优秀青年教师后备人选科研项目(RE658)

Effect of LaNiO2 Buffer Layer on the Structure and Electrical Properties of Pb ( Mg1/3Nb2/3 ) O3-PbTiO3 Thin Films Deposited by Chemical Solution Method

LIU Ai-yun   

  • Online:2008-04-15 Published:2021-01-20

摘要: 采用化学溶液法在Pt/TiO2/SiO2/Si衬底上制备了92;Pb(Mg1/3/Nb2/3)O3-8;PbTiO3(PMNT)薄膜,对于在衬底上引入缓冲层LaNiO3(LNO)和没有引入缓冲层LNO所制备的PMNT薄膜结构及电学性能进行了比较和研究.x射线衍射测试结果表明:直接在Pt/TiO2/SiO2/Si衬底上所制备的PMNT薄膜含有大量的烧绿石相,且薄膜呈现高度的(111)择优取向;而当在Pt/TiO2/SiO2/Si衬底上引入LNO缓冲层后,所制备的PMNT薄膜是纯钙钛矿相,且薄膜呈现(100)择优取向.通过铁电和介电性能测试表明:当在Pt/TiO2/SiO2/Si衬底上引入缓冲层LNO后,所制备的PMNT薄膜的剩余极化和介电常数也都得到了较大提高.

关键词: LNO缓冲层;PMNT薄膜;烧绿石相

中图分类号: