微纳米复合金刚石自支撑膜的制备及微观结构的研究

人工晶体学报 ›› 2008, Vol. 37 ›› Issue (2): 446-449.

微纳米复合金刚石自支撑膜的制备及微观结构的研究

薛前进;黄玲;陈广超;李彬;唐伟忠;李成明;宋建华;黑立富;佟玉梅

北京科技大学材料科学与工程学院,北京,100083;井冈山大学,井冈山,343009

出版日期:2008-04-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家自然科学基金(50472095);北京市自然科学基金(2062015)

Deposition of Micro/Nano Composite Multilayered Free-standing Diamond Film and Investigation of Its Microstructure

XUE Qian-jin;HUANG Ling;CHEN Guang-chao;LI Bin;TANG Wei-zhong;LI Chen-ming;SONG Jian-hua;HEI Li-fu;TONG Yu-mei

Online:2008-04-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 在30 kW级直流电弧等离子喷射化学气相沉积装置下,采用Ar-H2-CH4混合气体,通过控制工艺参数,在多晶钼衬底上制备了微纳米复合多层金刚石自支撑膜.采用拉曼光谱对其进行成份分析、SEM观察膜体表面形貌,采用聚焦离子束(FIB)技术对其进行原位刻蚀,用高分辨电镜观察对其进行微观表征.结果显示,同普通微米膜相比,多层膜体是由微米晶金刚石层和纳米晶金刚石层组成,表面光滑,微米层与纳米层间具有相互嵌套式的界面,微/纳米复合多层金刚石自支撑膜中包含有纳米级金刚石晶粒、微米级金刚石晶粒和无定形碳.

中图分类号:

O484

薛前进;黄玲;陈广超;李彬;唐伟忠;李成明;宋建华;黑立富;佟玉梅. 微纳米复合金刚石自支撑膜的制备及微观结构的研究[J]. 人工晶体学报, 2008, 37(2): 446-449.

XUE Qian-jin;HUANG Ling;CHEN Guang-chao;LI Bin;TANG Wei-zhong;LI Chen-ming;SONG Jian-hua;HEI Li-fu;TONG Yu-mei. Deposition of Micro/Nano Composite Multilayered Free-standing Diamond Film and Investigation of Its Microstructure[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2008, 37(2): 446-449.

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