氧等离子体处理硬质合金表面对金刚石薄膜附着性能的影响

人工晶体学报 ›› 2008, Vol. 37 ›› Issue (3): 689-693.

氧等离子体处理硬质合金表面对金刚石薄膜附着性能的影响

邢文娟;汪建华;王传新;皮华滨;余学超

武汉工程大学湖北省微波等离子体化学与新材料重点实验室,武汉,430073

出版日期:2008-06-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
湖北省科技攻关项目(2002AA105A02);湖北省教育厅创新团队项目

Influence of the Cemented Carbide Surface by Oxygen Plasma Processing on Adhesion Capability of the Diamond Film

XING Wen-juan;WANG Jian-hua;WANG Chuan-xin;PI Hua-bin;YU Xue-chao

Online:2008-06-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 本文采用微波氧等离子体刻蚀硬质合金基体表面,再利用热的浓碱溶液清除硬质合金表面所形成的氧化物,通过扫描电镜(SEM)观察了试样表面情况,并通过X射线能谱(EDAX)分析了硬质合金表面各成分变化情况.经过预处理的试样采用热丝化学气相沉积(HFCVD)金刚石薄膜,对所沉积出的金刚石薄膜采用SEM观察及压痕测试,发现经过氧等离子体处理的金刚石刀具较两步酸蚀法处理过的金刚石薄膜涂层,其附着性能有较大提高.

中图分类号:

O484

邢文娟;汪建华;王传新;皮华滨;余学超. 氧等离子体处理硬质合金表面对金刚石薄膜附着性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2008, 37(3): 689-693.

XING Wen-juan;WANG Jian-hua;WANG Chuan-xin;PI Hua-bin;YU Xue-chao. Influence of the Cemented Carbide Surface by Oxygen Plasma Processing on Adhesion Capability of the Diamond Film[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2008, 37(3): 689-693.

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