欢迎访问《人工晶体学报》官方网站,今天是 2025年7月23日 星期三 分享到:

人工晶体学报 ›› 2009, Vol. 38 ›› Issue (1): 271-275.

• • 上一篇    下一篇

晶体生长用石英玻璃管镀膜工艺的正交实验研究

沈涛;刘俊成;翟慎秋;张国栋   

  1. 山东理工大学材料科学与工程学院,淄博,255049
  • 出版日期:2009-02-15 发布日期:2021-01-20
  • 基金资助:
    国家自然科学基金(50372036);教育部新世纪优秀人才支持计划(NCET-04-0648)

Orthogonal Optimum Design of Carbon Coating on Quartz Ampoules for Crystal Growth

SHEN Tao;LIU Jun-cheng;ZHAI Shen-qiu;ZHANG Guo-dong   

  • Online:2009-02-15 Published:2021-01-20

摘要: 运用正交设计,对CdZnTe晶体生长用高纯石英坩埚内壁镀膜过程中的镀膜温度、镀膜时间、气体流量、冷却时间四个因素进行了研究和优化.用金相显微镜,扫描电镜观察分析了不同镀膜工艺条件下得到的碳膜表面形貌,用WS-2005自动划痕仪对碳膜与石英管壁之间的结合力进行了测试.实验结果表明,镀膜温度对碳膜质量影响最为显著,其次是镀膜时间,再次为冷却时间,而气体流量对碳膜质量的影响甚小.镀膜工艺的优化参数:镀膜温度为1010 ℃,气体流量为6 L/h,镀膜时间为4 h,冷却时间为18 h.该工艺参数得到的碳膜较为均匀,且与石英管壁结合强度高.

关键词: 正交设计;碳膜;CdZnTe;晶体生长

中图分类号: