HFCVD系统中衬底温度场及气相空间场的数值分析

人工晶体学报 ›› 2009, Vol. 38 ›› Issue (2): 434-439.

HFCVD系统中衬底温度场及气相空间场的数值分析

杨春;卢文壮;左敦稳;徐锋;任卫涛

南京航空航天大学,江苏省精密与微细制造技术重点实验室,南京,210016

出版日期:2009-04-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家自然科学基金(50605032);江苏省自然科学基金(BK2006189;BK2007193)

Numerical Analysis of Substrate Temperature Field and Gas Spacial Field in Hot Filament CVD System

YANG Chun;LU Wen-zhuang;ZUO Dun-wen;XU Feng;REN Wei-tao

Online:2009-04-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 探讨了典型气氛中热丝辐射、气体热传导与对流、化学反应生热等因素对衬底温度的影响,建立了三维热丝辐射和二维热流耦合有限元模型,研究了各工艺参数对衬底温度场及气相空间场的影响.结果表明H2占主导地位的气氛中衬底表面的氢原子重组放热对衬底温度有较大影响,氩气气氛中原子重组放热对衬底温度影响很小;热丝温度对衬底温度的影响最大;进气口到衬底的距离及进气口气体流速对衬底附近的流场影响最大,适当提高进气口到衬底的距离有助于提高衬底附近流场均匀性,增大进气速度有助于突破热障提高衬底表面流速,但同时加剧了衬底附近流场的不均匀性.

中图分类号:

TB43

杨春;卢文壮;左敦稳;徐锋;任卫涛. HFCVD系统中衬底温度场及气相空间场的数值分析[J]. 人工晶体学报, 2009, 38(2): 434-439.

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