SrRuO3导电层对快速退火制备Pb(Zr,Ti)O3薄膜结构和性能的影响

人工晶体学报 ›› 2010, Vol. 39 ›› Issue (3): 608-612.

SrRuO3导电层对快速退火制备Pb(Zr,Ti)O3薄膜结构和性能的影响

王宽冒;刘保亭;倪志宏;赵敬伟;李丽;李曼;周阳

河北大学物理科学与技术学院,保定,071002;河北大学计算中心,保定,071002

出版日期:2010-06-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家自然科学基金(60876055);河北省自然科学基金项目(E2008000620);教育部科学技术研究重点项目(207013);河北省应用基础研究计划重点基础研究项目(08965124D)

Effect of SrRuO3 Conductive Layer on the Structure and Properties of Pb(Zr,Ti)O3 Thin Films Prepared by Rapid Thermal Annealing

WANG Kuan-mao;LIU Bao-ting;NI Zhi-hong;ZHAO Jing-wei;LI Li;LI Man;ZHOU Yang

Online:2010-06-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上,制备了Pt/Pb(Zr,Ti)O3(PZT)/Pt和SrRuO3(SRO)/PZT/SrRuO3(SRO)异质结电容器,并研究了快速退火条件下SRO导电层对PZT结构和性能的影响.XRD测试表明,两种结构电容器中的PZT薄膜均为钙钛矿结构,SRO/PZT/SRO、Pt/PZT/Pt均具有较好的铁电性和脉宽依赖性,5 V电压下两电容器的剩余极化强度Pr和矫顽电压Vc分别为28.3 μC/cm2、1.2 V和17.4 μC/cm2、2.1 V.在经过1010次翻转后,SRO/PZT/SRO铁电电容器疲劳特性相对于Pt/PZT/Pt电容器有了较大的改善,但SRO导电层的引入也带来了漏电流增大的问题.

中图分类号:

O484

王宽冒;刘保亭;倪志宏;赵敬伟;李丽;李曼;周阳. SrRuO3导电层对快速退火制备Pb(Zr,Ti)O3薄膜结构和性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2010, 39(3): 608-612.

WANG Kuan-mao;LIU Bao-ting;NI Zhi-hong;ZHAO Jing-wei;LI Li;LI Man;ZHOU Yang. Effect of SrRuO3 Conductive Layer on the Structure and Properties of Pb(Zr,Ti)O3 Thin Films Prepared by Rapid Thermal Annealing[J]. JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS, 2010, 39(3): 608-612.

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