化学气相输运法制备ZnO晶体

人工晶体学报 ›› 2010, Vol. 39 ›› Issue (5): 1261-1264.

化学气相输运法制备ZnO晶体

韦志仁;武明晓;郭树青;高平;尹利君;黄存新;张金平;张晓军;董国义

河北大学物理科学与技术学院,河北省光电信息材料重点实验室,保定,071002;烁光特晶科技有限公司,北京,100018;北京中材人工晶体研究院有限公司,北京,100018

出版日期:2010-10-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家自然科学基金(50472037;50672020;50772027);河北省自然科学基金(E2007000197;E2006001008)

Synthesis of ZnO Crystals by Chemical Vapor Transport Process

WEI Zhi-ren;WU Ming-xiao;GUO Shu-qing;GAO Ping;YIN Li-jun;HUANG Cun-xin;ZHANG Jin-ping;ZHANG Xiao-jun;DONG Guo-yi

Online:2010-10-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用化学气相输运法在常压开放系统中,以ZnO粉体为原料,HCl和NH3为输运气体,O2和H2O为反应气体,适度过量的HCl作为刻蚀性气体,在(0001)方向的蓝宝石籽晶片上制备了(0002)方向定向生长的ZnO晶体,且a、b轴生长速度明显高于c轴方向.以(0002)方向的ZnO籽晶片作基片,制备了ZnO单晶厚膜,晶体呈螺旋状外延生长,正极面的单晶摇摆曲线半高宽为543.6弧秒.

中图分类号:

O614.24

韦志仁;武明晓;郭树青;高平;尹利君;黄存新;张金平;张晓军;董国义. 化学气相输运法制备ZnO晶体[J]. 人工晶体学报, 2010, 39(5): 1261-1264.

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