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人工晶体学报 ›› 2010, Vol. 39 ›› Issue (6): 1485-1489.

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ZnO纳米针阵列合成及台阶动力学生长机理研究

唐斌;邓宏;税正伟;张强;刘忠华;谌贵辉   

  1. 西南石油大学理学院,成都,610500;电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,610054;西南石油大学电气信息学院,成都,610500
  • 出版日期:2010-12-15 发布日期:2021-01-20
  • 基金资助:
    国家自然科学基金(50802012);四川省教育厅青年基金(10ZB066);西南石油大学校级科技基金(2010XJZ197)

Synthesis of ZnO Nanoneedles Array and Growth Mechanism of Step Kinetics

TANG Bin;DENG Hong;SHUI Zheng-wei;ZHANG Qiang;LIU Zhong-hua;CHEN Gui-hui   

  • Online:2010-12-15 Published:2021-01-20

摘要: 采用化学气相沉积系统,不用催化剂,生长过程中采用变温技术,在Si基片上合成了ZnO纳米针阵列.扫描电子显微图(SEM)显示ZnO纳米针阵列整齐密集生长在基片上,其棒状部分粗细均匀,直径约100 nm.透射电子显微照片(TEM)显示ZnO纳米针尖端呈现一系列的台阶.X射线衍射(XRD)图谱上只存在ZnO的(002)衍射峰,说明ZnO纳米针沿c轴择优取向.运用台阶动力学和奇异面生长理论分析表明ZnO纳米棒是典型的奇异面上单二维成核法向层生长机制.当单圈圆台阶扫过整个晶面的时间ts大于奇异面法向生长一个台阶高度所用时间tn时,在纳米棒顶端形成针尖;当单圈圆台阶扫过整个晶面的时间ts小于或等于奇异面法向生长一个台阶高度所用时间tn时,在纳米棒顶端不能形成针尖.

关键词: ZnO纳米针阵列;化学气相沉积;台阶动力学;奇异面

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