工艺参数对化学气相沉积硫化锌起拱的影响

人工晶体学报 ›› 2010, Vol. 39 ›› Issue (6): 1596-1600.

工艺参数对化学气相沉积硫化锌起拱的影响

付利刚;霍承松;张福昌;魏乃光;王学武;吕反修

北京科技大学材料科学与工程学院,北京,100083;北京有色金属研究总院北京国晶辉红外光学科技有限公司,北京,100088;北京有色金属研究总院北京国晶辉红外光学科技有限公司,北京,100088;北京科技大学材料科学与工程学院,北京,100083

出版日期:2010-12-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
军工配套项目

Effect of Technical Parameters on Bowing of CVDZnS

FU Li-gang;HUO Cheng-song;ZHANG Fu-chang;WEI Nai-guang;WANG Xue-wu;LV Fan-xiu

Online:2010-12-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 本文系统研究了沉积温度、压力、Zn/H2S、以及衬底表面粗糙度对起拱的影响.实验表明,适当的提高沉积温度(650 ℃)和降低沉积压力(1.5×104 Pa)有利于抑制沉积起拱;当Zn/H2S<1时起拱减弱,但透过率下降,可在沉积的初期采用低的Zn/H2S抑制起拱;由于表面阴影和钉扎效应,相对粗糙的衬底表面有更好的抑制起拱效果.

中图分类号:

付利刚;霍承松;张福昌;魏乃光;王学武;吕反修. 工艺参数对化学气相沉积硫化锌起拱的影响[J]. 人工晶体学报, 2010, 39(6): 1596-1600.

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