太阳电池窗口层材料Sc掺杂ZnO薄膜的抗腐蚀性研究

人工晶体学报 ›› 2011, Vol. 40 ›› Issue (4): 887-891.

太阳电池窗口层材料Sc掺杂ZnO薄膜的抗腐蚀性研究

马晓敏;赵占霞;宋晨辰;赵磊;马忠权

上海大学物理系,上海大学-索朗光伏材料实验室,上海200444

出版日期:2011-08-15 发布日期:2021-01-20

Study on Corrosion Risistance of Sc-doped ZnO Thin Films for Solar Cells Window Layer Materials

MA Xiao-min;ZHAO Zhan-xia;SONG Chen-chen;ZHAO Lei,;MA Zhong-quan

Online:2011-08-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 用于太阳电池窗口层的材料必须具有好的耐蚀性.利用射频磁控溅射的方法分别在300℃、350℃、400℃、450℃的沉积温度下制备透明导电Sc掺杂ZnO薄膜(SZO).用X射线衍射仪对样品的结构进行表征.结果表明,所有SZO薄膜均为六角纤锌矿结构,在(002)衍射峰位上相对于纯ZnO粉末有微小的偏移.用动电位扫描极化曲线和交流阻抗谱表征SZO薄膜的耐腐蚀性能,研究结果表明随沉积温度的升高,SZO薄膜的耐腐蚀性增强.在可见光范围内SZO薄膜透过率达85;以上,经3.5;的NaCl溶液腐蚀24h后薄膜透过率仍在80;以上.

中图分类号:

O484

马晓敏;赵占霞;宋晨辰;赵磊;马忠权. 太阳电池窗口层材料Sc掺杂ZnO薄膜的抗腐蚀性研究[J]. 人工晶体学报, 2011, 40(4): 887-891.

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