Cu掺杂ZnO薄膜的制备及其光谱特性

人工晶体学报 ›› 2011, Vol. 40 ›› Issue (5): 1130-1135.

Cu掺杂ZnO薄膜的制备及其光谱特性

邱春霞;阮永丰;张灵翠;刘雅丽;王帅

天津大学理学院,天津,300072

出版日期:2011-10-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
天津市自然科学基金(07JCZDJC00600;07JCYBJC06000)

Preparation and Spectral Characteristics of Cu Doped ZnO Thin Films

QIU Chun-xia;RUAN Yong-feng;ZHANG Ling-cui;LIU Ya-li;WANG Shuai

Online:2011-10-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用溶胶-凝胶法在铟锡氧化物(ITO)导电玻璃基底上制备了不同掺杂浓度的Cu∶ ZnO薄膜.采用X射线衍射仪和扫描电子显微镜分析了薄膜样品的晶相结构和形貌,用荧光光谱仪测量了薄膜样品的光致发光谱.结果表明:Cu∶ ZnO薄膜均为六角纤锌矿结构,呈c轴择优取向,且因压应力的存在使其晶格常数略小于未掺杂薄膜样品的晶格常数；低温和高温退火处理的薄膜样品的光致发光谱(PL)中分别观察到414 nm、438 nm的蓝光双发射峰和510 nm左右的绿光发射峰.蓝光发射峰与样品中的Vzn和Zni有关,而绿光发射峰与样品中的Vo -Zni有关.

中图分类号:

O484

邱春霞;阮永丰;张灵翠;刘雅丽;王帅. Cu掺杂ZnO薄膜的制备及其光谱特性[J]. 人工晶体学报, 2011, 40(5): 1130-1135.

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