ZAO透明导电薄膜微观结构和光电性能的研究

人工晶体学报 ›› 2011, Vol. 40 ›› Issue (5): 1305-1310.

ZAO透明导电薄膜微观结构和光电性能的研究

钟志有;顾锦华

1南民族大学电子信息工程学院,武汉,430074;中南民族大学计算与实验中心,武汉,430074

出版日期:2011-10-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
湖北省自然科学基金(2009CDB166);中南民族大学中央高校基本科研业务费专项资金(CZZ11001);中南民族大学学术团队基金(XTZ09003)

Microstructure and Optoelectrical Properties of Transparent Conductive Al Doped ZnO Thin Films

ZHONG Zhi-you;GU Jin-hua

Online:2011-10-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 以ZnAl2O4陶瓷靶为靶材,采用射频磁控溅射法制备了掺铝氧化锌(ZAO)透明导电薄膜,通过XRD、SEM、四探针仪和分光光度计等测试,研究了沉积温度对薄膜结构、形貌、力学和光电性能的影响.结果表明:ZAO具有(002)择优取向的六角纤锌矿结构,沉积温度对薄膜性能具有明显影响,当温度位于370～ 400℃区间时,薄膜的结晶质量较好、电阻率较低、可见光波段的平均透射率较高,其品质因数大于1.20×10-2S,具有良好的光电综合性能.同时基于透射光谱计算了ZAO薄膜的光学常数,并用有效单振子理论解释了薄膜的折射率色散关系.

中图分类号:

O484.1

钟志有;顾锦华. ZAO透明导电薄膜微观结构和光电性能的研究[J]. 人工晶体学报, 2011, 40(5): 1305-1310.

ZHONG Zhi-you;GU Jin-hua. Microstructure and Optoelectrical Properties of Transparent Conductive Al Doped ZnO Thin Films[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2011, 40(5): 1305-1310.

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