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人工晶体学报 ›› 2012, Vol. 41 ›› Issue (1): 59-63.

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空气退火对ZnS薄膜结构和光学特性的影响

于威;高卫;吴艳华;滕晓云;傅广生   

  1. 河北大学物理科学与技术学院,保定,071002
  • 出版日期:2012-02-15 发布日期:2021-01-20
  • 基金资助:
    河北省自然科学基金(E2006001006);河北大学自然科学基金(2008127);河北省博士后基金资助项目

Influence of Annealing in Air on the Structure and Optical Properties of ZnS Films

YU Wei;GAO Wei;WU Yan-hua;TENG Xiao-yun;FU Guang-sheng   

  • Online:2012-02-15 Published:2021-01-20

摘要: 采用X射线衍射、扫描电子显微镜和光致发光等技术研究了空气退火对ZnS薄膜的结构和光学特性的影响.薄膜在500℃以下退火后结晶质量得到改善,仍呈ZnS立方相结构.退火温度达到550℃时,薄膜中出现ZnO六方相结构.薄膜退火后,大气中的氧掺入薄膜中,出现ZnS-ZnO复合层.随退火温度升高,薄膜晶粒尺寸增大,透过率增加,带隙逐渐接近ZnO带隙.薄膜光致发光结果表明,复合层内ZnS和ZnO绿色发光的叠加替代了来自ZnS缺陷能级间的绿色发光.

关键词: ZnS薄膜;退火;光致发光

中图分类号: