温度对快速热退火制备多晶硅薄膜结构与电学性能的影响

人工晶体学报 ›› 2012, Vol. 41 ›› Issue (5): 1186-1189.

温度对快速热退火制备多晶硅薄膜结构与电学性能的影响

张磊;沈鸿烈;尤佳毅

南京航空航天大学材料科学与技术学院,南京,210016

出版日期:2012-10-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
江苏高校优势学科建设工程资助项目;中央高校基本科研业务费专项资金资助;江苏省普通高校研究生科研创新计划资助项目(CXZZ11_0206)

Effect of Annealing Temperature on the Structural and Electrical Properties of Poly-Si Films Prepared by Rapid Thermal Annealing

ZHANG Lei;SHEN Hong-lie;YOU Jia-yi

Online:2012-10-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用快速热退火方法对热丝CVD沉积的非晶硅薄膜进行了晶化处理.利用傅里叶红外光谱研究了非晶硅薄膜脱氢处理前后Si-Hx含量的变化；用X射线衍射(XRD),拉曼(Raman)光谱和扫描电子显微镜研究了硅薄膜的结构性能与退火温度的关系；利用电导率测试研究了硅薄膜的电学性能对退火温度的依赖性.研究发现,脱氢处理可以有效的抑制快速热退火引起的硅薄膜中微裂纹的出现.随着退火温度由700℃升高至1100℃,硅薄膜的结晶性逐渐升高,在1100℃下快速热退火15 s制备的多晶硅薄膜的晶化率高达96.7;.同时,硼掺杂硅薄膜的电导率也由700℃退火的1.39×10-6 S·cm-1提高至1100℃退火的16.41 S·cm-1,增大了7个数量级.

中图分类号:

TB34
O484

张磊;沈鸿烈;尤佳毅. 温度对快速热退火制备多晶硅薄膜结构与电学性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2012, 41(5): 1186-1189.

ZHANG Lei;SHEN Hong-lie;YOU Jia-yi. Effect of Annealing Temperature on the Structural and Electrical Properties of Poly-Si Films Prepared by Rapid Thermal Annealing[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2012, 41(5): 1186-1189.

[1]	丁家福, 和志豪, 王云杰, 苏欣. 通过硫代调控Ga、In、Tl磷酸盐光学性质的第一性原理研究[J]. 人工晶体学报, 2025, 54(1): 95-106.
[2]	赵文海, 陶世旭, 童思意, 唐健, 左传东, 曹永革, 麻朝阳. Lu₂O₃基激光透明陶瓷的研究进展[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(12): 2043-2058.
[3]	牛丽丽, 王培, 刘彦彬, 赵惠娟. 超级电容器用生物质衍生碳材料研究进展[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(8): 1302-1312.
[4]	孙元龙, 胡子钰, 郑国宗. 大尺寸CH₃NH₃PbBr₃晶体生长和光电性能表征[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(8): 1313-1318.
[5]	刘晓莹, 黄海深, 孙丽, 潘孟美, 尚真真. 二维MXene材料CrVCF₂的电子性质和磁性的第一性原理研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(8): 1386-1393.
[6]	丁涛, 李晴雯, 徐玉琦, 钟敏. 硫属钙钛矿BaZrS₃及其制备的研究进展和展望[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(6): 922-929.
[7]	李玉琦, 徐英, 梁士明. 氧化铟基气敏材料的研究进展[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(6): 930-946.
[8]	张博, 王云杰, 齐亚杰, 丁家福, 和志豪, 苏欣. 碱金属钼酸盐结构与性能关系的第一性原理研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(6): 999-1007.
[9]	王蕾蕾, 尹振华, 张蕴可, 刘磊, 陈名. 适用于太阳能电池的新型无铅四元硫碘化物优异光电性能的第一性原理研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(5): 803-809.
[10]	张家豪, 王德修, 李玉琦, 徐英, 梁士明, 宋学省. 二硫化钼纳米材料的制备方法及应用研究进展[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(4): 600-619.
[11]	王晨星, 刘禹松, 胡泳池, 胡家俊, 赵钰淳, 宋旭辉, 宋衍滟. 碳化温度对CF/Pd催化剂电催化氧化甲醇性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(4): 721-729.
[12]	谢汉荣, 杨铁锋, 韦玉明, 关贺元, 卢惠辉. 薄膜铌酸锂光电探测器近期研究进展[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(3): 410-425.
[13]	张飞鹏, 路清梅, 刘卫强, 张东涛, 岳明. MnGa二元合金等静压电子结构与磁性质的研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(3): 541-550.
[14]	李宏, 廖鑫, 侯静, 徐众. 钙钛矿太阳能电池界面缺陷及其抑制方法[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(1): 38-50.
[15]	王赵鹏, 曾金, 高艳, 王春英. 稀土上转换光催化剂的研究进展[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(1): 51-57.