蓝宝石单晶生长坩埚热应力分析

人工晶体学报 ›› 2012, Vol. 41 ›› Issue (5): 1458-1462.

蓝宝石单晶生长坩埚热应力分析

白亮亮;刘云霞;杨军良;赵宜琳

西安理工大学,西安,710048

发布日期:2021-01-20

Thermal Stress Analysis of Sapphire Crystal Growth Crucible

BAI Liang-liang;LIU Yun-xia;YANG Jun-liang;ZHAO Yi-lin

Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 针对蓝宝石单晶生长过程中因热应力集中坩埚使用寿命短问题,基于ANSYS有限元分析,对晶体熔化过程中的坩埚进行瞬态传热分析,在此基础上进行不同情况下热-结构耦合分析,计算得出晶体完全熔化后坩埚的热应力分布情况.分析显示:最大热应力存在于坩埚与托盘结合处；在满足晶体生长条件下,减缓升温速度,减小温度梯度,增大托杆中间空隙,改变托盘托杆材料等方法可以减小热应力.

中图分类号:

TH123

白亮亮;刘云霞;杨军良;赵宜琳. 蓝宝石单晶生长坩埚热应力分析[J]. 人工晶体学报, 2012, 41(5): 1458-1462.

BAI Liang-liang;LIU Yun-xia;YANG Jun-liang;ZHAO Yi-lin. Thermal Stress Analysis of Sapphire Crystal Growth Crucible[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2012, 41(5): 1458-1462.