聚合物太阳电池ITO电极的光刻制备

人工晶体学报 ›› 2012, Vol. 41 ›› Issue (6): 1549-1553.

聚合物太阳电池ITO电极的光刻制备

刘桂林;朱华新;郭颖;严慧敏;李果华

江南大学理学院,无锡,214122;江南大学理学院,无锡214122;江苏省(尚德)光伏技术研究院,无锡214028

出版日期:2012-12-15 发布日期:2021-01-20

Fabrication of ITO Electrode with Lithography for Polymer Solar Cells

LIU Gui-lin;ZHU Hua-xin;GUO Ying;YAN Hui-min;LI Guo-hua

Online:2012-12-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 使用光刻的方法进行ITO电极的制作,可制得精细的电极结构,本文重点阐述了使用光刻制备ITO电极的方法,包括表面清洗、曝光参量、显影条件、腐蚀工艺等,其中较为理想的ITO光刻工艺为:50 s曝光时间、30 s显影时间、20s化学腐蚀时间.并用对腐蚀工艺条件进行了理论分析,并使用光学相干断层扫描(OCT)技术对制备的电极进行了测量.

中图分类号:

TN27

刘桂林;朱华新;郭颖;严慧敏;李果华. 聚合物太阳电池ITO电极的光刻制备[J]. 人工晶体学报, 2012, 41(6): 1549-1553.

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