硅烷热分解生产多晶硅的三维模拟

人工晶体学报 ›› 2012, Vol. 41 ›› Issue (6): 1587-1594.

硅烷热分解生产多晶硅的三维模拟

黄国强;潘金花;毛俊楠;王红星;范江洋

天津大学化工学院,天津,300072;福州大学化学化工学院,福州,350002

出版日期:2012-12-15 发布日期:2021-01-20

Three-dimensional Simulation of Silane Thermal Decomposition in Polysilicon Production

HUANG Guo-qiang;PAN Jin-hua;MAO Jun-nan;WANG Hong-xing;FAN Jiang-yang

Online:2012-12-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 本文建立了硅烷和氢气体系中气体动量、热量和质量同时传递,并且耦合硅烷热分解反应的多晶硅气相沉积模型,选择适宜的物理模型和边界条件通过流体力学软件Fluent 6.3.26进行数值模拟.之后模拟了进气组成、反应温度、反应压力及进口速度等因素对沉积特性的影响,得到结论:当进气组成、反应温度和反应压力增大时,硅的沉积速率增大、单位能耗降低；当进气速度增大时,硅的沉积速率和单位能耗均呈增大趋势；在进口区域硅沉积速率随着硅棒延伸增大,在离进口较远的区域,硅沉积速率随着硅棒延伸而减小.

中图分类号:

TQ150.1

黄国强;潘金花;毛俊楠;王红星;范江洋. 硅烷热分解生产多晶硅的三维模拟[J]. 人工晶体学报, 2012, 41(6): 1587-1594.

HUANG Guo-qiang;PAN Jin-hua;MAO Jun-nan;WANG Hong-xing;FAN Jiang-yang. Three-dimensional Simulation of Silane Thermal Decomposition in Polysilicon Production[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2012, 41(6): 1587-1594.