纳米非晶碳薄膜的制备及其场致电子发射特性

人工晶体学报 ›› 2012, Vol. 41 ›› Issue (6): 1768-1771.

纳米非晶碳薄膜的制备及其场致电子发射特性

袁泽明;张永强;姚宁;张兵临

河南财经政法大学计算机与信息工程学院,郑州,450002;郑州大学材料物理教育部重点实验室,郑州,450052

发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家自然科学基金(61076041);教育部科学技术研究重点项目(205091);河南省科技攻关项目(0624250014)

Synthesis and Field Emission Characteristics of the Amorphous Nano-carbon Films

YUAN Ze-ming;ZHANG Yong-qiang;YAO Ning;ZHANG Bing-lin

Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用微波等离子体增强化学气相沉积(MPECVD)法,在涂有FeCl3的硅衬底上制备出了纳米非晶碳薄膜.通过SEM、XRD和拉曼光谱分析了薄膜材料的形貌和结构.并研究了薄膜材料的场发射特性.结果表明:薄膜的开启电场仅为0.39 V/μm;当电场强度为1.85 V/μm时,电流密度高达3.06 mA/cm2；且场发射点均匀、密集、稳定.迭代法计算表明薄膜材料的功函数为3.1 eV,发射点密度约为1.7×105个/cm2.这些均表明该薄膜是一种性能优良的场发射阴极材料.

中图分类号:

O484

袁泽明;张永强;姚宁;张兵临. 纳米非晶碳薄膜的制备及其场致电子发射特性[J]. 人工晶体学报, 2012, 41(6): 1768-1771.

YUAN Ze-ming;ZHANG Yong-qiang;YAO Ning;ZHANG Bing-lin. Synthesis and Field Emission Characteristics of the Amorphous Nano-carbon Films[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2012, 41(6): 1768-1771.

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