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人工晶体学报 ›› 2005, Vol. 34 ›› Issue (2): 306-312.

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双折射雕塑薄膜的研究进展

王素梅;王建国;付小勇;范正修;贺洪波;邵建达   

  1. 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800;中国科学院研究生院,北京,100039;中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800
  • 出版日期:2005-04-15 发布日期:2021-01-20

Research Progress in Birefringent Sculptured Thin Film

WANG Su-mei;WANG Jian-guo;FU Xiao-yong;FAN Zheng-xiu;HE Hong-bo;SHAO Jian-da   

  • Online:2005-04-15 Published:2021-01-20

摘要: 倾斜沉积技术制备的雕塑薄膜是一种新型的、具有各向异性结构的薄膜材料.根据基片旋转方式的不同,可得到螺旋状、S形状、C形状、弯曲柱状等不同结构的薄膜,并且出现了晶体中的双折射现象.雕塑薄膜可以实现各向同性薄膜无法实现的光学性质,为光学薄膜的设计与制备开辟了新的途径.本文综述了雕塑薄膜的制备方法,分析了雕塑薄膜的微结构与双折射特性,并阐述了其在光学领域内的应用潜力.

关键词: 雕塑薄膜;倾斜沉积;双折射;各向异性

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