周期极化的电极结构及相关工艺缺陷的电场分析

人工晶体学报 ›› 2005, Vol. 34 ›› Issue (5): 805-811.

周期极化的电极结构及相关工艺缺陷的电场分析

纪磊;于建;倪文俊;武星;桑梅;李世忱

天津大学精密仪器与光电子工程学院,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300072

出版日期:2005-10-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
教育部科学技术基金(02042);国家自然科学基金(60377018)

Electric Field Distribution Analysis of Electrode Configuration and Process Defects of Periodic Electric Poling

JI Lei;YU Jian;NI Wen-jun;WU Xing;SANG Mei;LI Shi-chen

Online:2005-10-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 本文采用有限元方法分析外加电场法对铁电体进行周期极化时的电场分布,讨论尖端效应对极化的影响,比较两种不同的电极设计方案-梳形电极和框形电极的优劣.分析了多周期光栅同时极化时的电场分布,推断了大周期与小周期之间存在的竞争现象.本文最后对光刻造成周期电极的断条、毛刺工艺缺陷和液体电极方案的残留气泡缺陷进行了探讨.数值计算得出的结论比较圆满地解释了实验中的许多现象.

中图分类号:

纪磊;于建;倪文俊;武星;桑梅;李世忱. 周期极化的电极结构及相关工艺缺陷的电场分析[J]. 人工晶体学报, 2005, 34(5): 805-811.

JI Lei;YU Jian;NI Wen-jun;WU Xing;SANG Mei;LI Shi-chen. Electric Field Distribution Analysis of Electrode Configuration and Process Defects of Periodic Electric Poling[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2005, 34(5): 805-811.

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