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人工晶体学报 ›› 2005, Vol. 34 ›› Issue (5): 948-953.

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实现受激光发射探索Si基激光器

彭英才;X.W.Zhao;傅广生;王英龙   

  1. 河北大学电子信息工程学院,保定,071002;中国科学院半导体研究所,半导体材料科学重点实验室,北京,100083;Department of Physics,Tokyo University of Science,Tokyo,Japan;中国科学院微电子研究所,纳米材料与纳米器件实验室,北京,100029;河北大学物理科学与技术学院,保定,071002
  • 发布日期:2021-01-20
  • 基金资助:
    河北省自然科学基金(503125);中国科学院重点实验室基金

To Achieve Stimulated Light-emission Approach to Si-based Laser

PENG Ying-cai;X.W.Zhao;FU Guang-sheng;WANG Ying-long   

  • Published:2021-01-20

摘要: 本文首先评论了近5年来各类Si基纳米材料在光增益和受激光发射特性研究方面所取得的最新进展.进而指出,晶粒有序的小尺寸和高密度纳米晶Si(nc-Si),具有载流子三维量子受限的局域化纳米结构和具有高激活浓度Er掺杂的nc-Si:Er/SiO2纳米薄膜,将是实现Si基激光器的主要有源区材料.最后,对这一领域的今后发展趋势进行了初步展望.预计在今后的3~5年内,实现Si基激光器的探索性研究高潮即将到来,并极有可能获得重大突破性进展,即在进一步提高发光效率的基础上,实现稳定可靠的光增益和受激光发射特性.而后再用3~5年的时间,通过优化结构形式与工艺技术,研制出具有器件实用化水平的Si基激光器.

关键词: nc-Si;局域化Si基纳米结构;光增益;受激光发射;Si基激光器;全Si光电子集成

中图分类号: