电沉积二氧化钛功能薄膜的制备与组织转变研究

人工晶体学报 ›› 2006, Vol. 35 ›› Issue (3): 612-616.

电沉积二氧化钛功能薄膜的制备与组织转变研究

吴玉程;叶敏;解挺;马杰;李广海;张立德

合肥工业大学材料科学与工程学院,合肥,230009;中国科学院固体物理研究所,合肥,230031;合肥工业大学材料科学与工程学院,合肥,230009;中国科学院固体物理研究所,合肥,230031

发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家重点基础研究发展计划(973计划)(G19990645);纳米材料与纳米结构资助项目(01402007);安徽省重大科技专项基金(01402007)

Electrodeposited Functional Titania Film and Microstructure Transformation

WU Yu-cheng;YE Min;XIE Ting;MA Jie;LI Guang-hai;ZHANG Li-de

Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用直流电沉积方法,在石墨板上成功制备了半导体二氧化钛功能薄膜前驱体,分析讨论了电沉积过程中实验参数对TiO2前驱体成膜的影响,获得了制备二氧化钛膜最佳工艺参数.TiO2前驱体沉积速率随着电流密度的增大而增加,为了保证薄膜质量,将电流密度控制在5～45mA/cm2之间;溶液浓度对沉积速率也有影响,当溶液中TiCl4:H2O2=1:2时沉积速率最大;最佳沉积温度为5-10℃.运用差热分析、XRD相结构分析和SEM等手段,研究了该前驱体到锐钛矿相(anatase)和金红石相(rutile)二氧化钛的组织相转变过程,300℃热处理得到锐钛矿相的二氧化钛,650℃热处理后出现金红石相.

中图分类号:

O484

吴玉程;叶敏;解挺;马杰;李广海;张立德. 电沉积二氧化钛功能薄膜的制备与组织转变研究[J]. 人工晶体学报, 2006, 35(3): 612-616.

WU Yu-cheng;YE Min;XIE Ting;MA Jie;LI Guang-hai;ZHANG Li-de. Electrodeposited Functional Titania Film and Microstructure Transformation[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2006, 35(3): 612-616.

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