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人工晶体学报 ›› 2013, Vol. 42 ›› Issue (1): 124-128.

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高质量WO3薄膜的制备及其电致变色数码显示器件

罗坚义;周洋洋;陈润明;曾庆光;张梅   

  1. 五邑大学应用物理与材料学院,江门,529020
  • 出版日期:2013-01-15 发布日期:2021-01-20
  • 基金资助:
    国家自然科学基金(11004153);广东省自然科学基金(S2011040000636,10152902001000009);广东省科技计划项目(2009B030803015);广东高校优秀青年创新人才培养计划(LYM11123,LYM10131);广东省高等学校人才引进专项资金(粤财教[2011]431号)

Preparation of the High Quality WO3 Thin Film and Its Application in the Electrochromic Digital Display Devices

LUO Jian-yi;ZHOU Yang-yang;CHEN Run-ming;ZENG Qing-guang;ZHANG Mei   

  • Online:2013-01-15 Published:2021-01-20

摘要: 本文首先探索热蒸发法制备高质量WO3薄膜的工艺参数,分别从基片类型,基片温度和蒸发速率三方面讨论和分析成膜的质量,获得在ITO玻璃基片最佳的蒸镀条件为蒸发电流为110 A,基片温度为250℃.其次,应用高质量WO3薄膜于全固态电致变色器件结构中,获得了良好的变色性能,实现逐段控制的数码显示效果.研究结果表明高质量WO3薄膜在电致变色器件,特别是双面显示器件方面具有潜在的应用前景.

关键词: WO3薄膜;热蒸发;电致变色;双面数字显示

中图分类号: