气体法掺硼制备双面金刚石电极的研究

人工晶体学报 ›› 2013, Vol. 42 ›› Issue (2): 230-234.

气体法掺硼制备双面金刚石电极的研究

周春;徐锋;徐俊华;卢文壮;左敦稳

南京航空航天大学机电学院,南京,210016

出版日期:2013-02-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家自然科学基金(51005117);南京航空航天大学研究生创新基金(KFJJ20110223)

Research on the Preparation of Double-sided Diamond Coated Electrode with Gas Doping of Boron

ZHOU Chun;XU Feng;XU Jun-hua;LU Wen-zhuang;ZUO Dun-wen

Online:2013-02-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 本文根据制备双面电极所要的温度场流场需求,设计了一个悬挂式的沉积平台,以满足工业级金刚石电极的制备需要.利用B2H6气体掺杂的方法制备不同掺杂浓度的金刚石电极,用SEM、Raman、四探针电阻仪对掺杂金刚石膜进行了分析,同时对制成的电极做了电化学性能的测试.结果表明,在设计的平台上可以制备出高质量的金刚石薄膜,B掺杂对金刚石膜的成分结构影响比较大,随着掺杂浓度的提高,晶粒细化明显,掺杂浓度过高薄膜质量下降.电化学性能的检测表明,气体掺杂的效率比较明显,在2000 ～4000 ppm较低浓度下,电极已经表现出良好的电化学性能.

中图分类号:

O482.3

周春;徐锋;徐俊华;卢文壮;左敦稳. 气体法掺硼制备双面金刚石电极的研究[J]. 人工晶体学报, 2013, 42(2): 230-234.

ZHOU Chun;XU Feng;XU Jun-hua;LU Wen-zhuang;ZUO Dun-wen. Research on the Preparation of Double-sided Diamond Coated Electrode with Gas Doping of Boron[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2013, 42(2): 230-234.

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