氩氧流量对ZAO薄膜微结构及其光学性能影响

人工晶体学报 ›› 2013, Vol. 42 ›› Issue (9): 1808-1813.

氩氧流量对ZAO薄膜微结构及其光学性能影响

朱华;万文琼;况慧芸;冯晓炜

景德镇陶瓷学院机电学院,景德镇333001;景德镇陶瓷学院科技艺术学院工程系,景德镇333001;景德镇陶瓷学院科技艺术学院工程系,景德镇,333001

出版日期:2013-09-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
江西省教育厅科技项目(GJJ13639)

Effects of Argon Oxygen Flow Rate on the Microstructure and Optical Properties of ZAO Thin Films

ZHU Hua;WAN Wen-qiong;KUANG Hui-yun;FENG Xiao-wei

Online:2013-09-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 运用射频磁控溅射技术,改变氩氧流量比在玻璃衬底上生长ZnO∶ Al(ZAO)样品,采用XRD、紫外-可见分光光度计对薄膜微结构、厚度及其光学性能表征,结果发现:维持氩流量不变(9 sccm),随着氧流量增加(1～9 sccm),样品XRD峰强减小,半高宽增大,晶粒尺寸减小,薄膜结晶性能变差;而维持氧流量不变(9 sccm),氩流量减小(9～3 sccm),样品XRD峰强增大,半高宽减小,晶粒尺寸变大,结晶性能变好.紫外可见光光谱在400 ～ 900nm波长区间平均透射率差异大(67.9; ～91.1;);在420 ～ 900 nm波长区间平均透光率高且差异小(90.2; ～92.4;).

中图分类号:

O484

朱华;万文琼;况慧芸;冯晓炜. 氩氧流量对ZAO薄膜微结构及其光学性能影响[J]. 人工晶体学报, 2013, 42(9): 1808-1813.

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