氢气浓度对掺氮超纳米金刚石薄膜的影响

人工晶体学报 ›› 2015, Vol. 44 ›› Issue (2): 374-379.

氢气浓度对掺氮超纳米金刚石薄膜的影响

吕琳;汪建华;翁俊;张莹;崔晓慧

武汉工程大学材料科学与工程学院,湖北省等离子体化学与新材料重点实验室,武汉430074

出版日期:2015-02-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家自然科学基金(11175137)

Influence of H2 Concentration on Nitrogen-doped Ultra-nanocrystalline Diamond Thin Films

LV Lin;WANG Jian-hua;WENG Jun;ZHAGN Ying;CUI Xiao-hui

Online:2015-02-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用微波等离子体化学气相沉积法,以甲烷和氮气为气源,通过改变反应气体中氢气的浓度,在硅衬底上沉积出掺杂氮的超纳米金刚石膜.并利用扫描电子显微镜,拉曼光谱仪,X射线衍射仪,霍尔效应测试仪分别对掺杂氮的超纳米金刚石膜的表面形貌,组成结构及导电性能进行了进行表征,重点研究了氢气浓度对薄膜特性的影响.结果表明:随着氢气浓度的增加,薄膜的晶粒尺寸逐渐增大;薄膜的质量提高,且由G峰漂移引起的压应力逐渐减小;薄膜导电性变差.

中图分类号:

O484.4

吕琳;汪建华;翁俊;张莹;崔晓慧. 氢气浓度对掺氮超纳米金刚石薄膜的影响[J]. 人工晶体学报, 2015, 44(2): 374-379.

LV Lin;WANG Jian-hua;WENG Jun;ZHAGN Ying;CUI Xiao-hui. Influence of H2 Concentration on Nitrogen-doped Ultra-nanocrystalline Diamond Thin Films[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2015, 44(2): 374-379.

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[1]	杨松, 何颖子, 王建卫, 张敏, 王旭. 锌掺杂对铁酸铋薄膜结构及多铁性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2023, 52(4): 621-628.
[2]	赵鑫, 刘粉红, 张晓东, 刘昌龙. 射频磁控溅射氧气流量对制备的Ga₂O₃∶Cr薄膜光致发光性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2022, 51(8): 1353-1360.
[3]	马海鑫, 丁广玉, 邢艳辉, 韩军, 张尧, 崔博垚, 林文魁, 尹浩田, 黄兴杰. 不同退火条件对PEALD制备的Ga₂O₃薄膜特性的影响[J]. 人工晶体学报, 2021, 50(5): 838-844.
[4]	马国斌, 杨松, 徐蕾, 郭凯鑫, 王旭. Gd³⁺、Co³⁺共掺杂铁酸铋薄膜多铁性增强及带隙调谐[J]. 人工晶体学报, 2021, 50(5): 851-857.
[5]	杨松;郭凯鑫;张敏;邓朝勇;王旭. La掺杂BiFeO3薄膜铁电及光学性能研究[J]. 人工晶体学报, 2019, 48(8): 1445-1450.
[6]	臧婷玉;吉帅;翟章印. 铝/铁掺杂的非晶碳/铝结构的电致电阻效应研究[J]. 人工晶体学报, 2018, 47(8): 1711-1713.
[7]	阳生红;张曰理. 水热法制备Co掺杂CeO2纳米晶的微观形貌及磁学性能研究[J]. 人工晶体学报, 2017, 46(12): 2307-2312.
[8]	薛健璐;文峰. PEM控制合成碳掺杂钛氧薄膜的成分结构研究[J]. 人工晶体学报, 2017, 46(8): 1521-1526.
[9]	袁烨;韩欢热;陈玉龙;钱欣. Ti-Cr-MCM-48分子筛的一步法制备及其吸附光催化性能研究[J]. 人工晶体学报, 2017, 46(5): 855-860.
[10]	那聪;姜宏;蔡思翔;冯建;王红燕. 氩氧流量比对CeOx-SnOx膜微观结构及光学性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2017, 46(5): 861-866.
[11]	张禹;韦习成;余运龙;张浩. 过渡金属二硫族化合物在FET中的应用研究进展[J]. 人工晶体学报, 2017, 46(5): 867-873.
[12]	阳生红;张曰理. 退火温度对Co掺杂CeO2稀磁氧化物薄膜的结构和铁磁性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2017, 46(3): 398-403.
[13]	翟章印;杜维嘉. Tb掺杂的非晶碳膜/GaAs/Ag异质结的光敏特性研究[J]. 人工晶体学报, 2016, 45(7): 1849-1853.
[14]	贾相华;左桂鸿;郑友进;姜宏伟;张辉霞;黄海亮. N掺杂MgxZn1-xO薄膜结构和光学性质研究[J]. 人工晶体学报, 2016, 45(5): 1380-1385.
[15]	户芳;余春燕;梅伏洪;张华;许并社. GaN衬底掺杂模式对ZnO纳米棒光学性质的影响[J]. 人工晶体学报, 2016, 45(4): 946-950.