衬底材料对Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜介电性能的影响

人工晶体学报 ›› 2016, Vol. 45 ›› Issue (4): 951-955.

衬底材料对Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜介电性能的影响

娄建忠;李振娜;方晓燕;代秀红;宋安英;宋建民;刘保亭

河北大学电子信息工程学院,河北省数字医疗工程重点实验室,保定071002;河北大学物理科学与技术学院,河北省光电信息材料重点实验室,保定071002

出版日期:2016-04-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家自然科学基金(11374086);河北省自然科学基金(E2013201176,E2014201188,E2014201063)

Effect of Substrate Material on Dielectric Properties of Ba0.6Sr0.4TiO3 Thin Film Interdigital Capacitors

LOU Jian-zhong;LI Zhen-na;FANG Xiao-yan;DAI Xiu-hong;SONG An-ying;SONG Jian-min;LIU Bao-ting

Online:2016-04-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用脉冲激光沉积系统分别在LaAlO3(001)和MgO(001)衬底上沉积了Ba06Sr04TiO3(BST)薄膜,以Pt做电极分别构架了Pt/BST/MgO和Pt/BST/LaAlO3叉指电容器.利用X射线衍射仪、原子力显微镜和Aglient E4980LCR表分别对两种薄膜的结构、表面形貌和介电特性进行表征.研究发现:两种衬底都可以实现BST(001)薄膜的外延生长,MgO和LaAlO3衬底上BST薄膜的晶粒尺寸分别为52 nm和42 nm.在室温40 V偏置电压下,Pt/BST/MgO和Pt/BST/LaAlO3的调谐率分别为39.68;和29.55;,最低损耗分别为0.029和0.053.这说明衬底材料的晶格常数不同,最终导致了BST薄膜介电性能的不同.

中图分类号:

TB303

娄建忠;李振娜;方晓燕;代秀红;宋安英;宋建民;刘保亭. 衬底材料对Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜介电性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2016, 45(4): 951-955.

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