溅射压强对W掺杂ZnO薄膜结构及光学性能的影响

人工晶体学报 ›› 2016, Vol. 45 ›› Issue (4): 1126-1130.

溅射压强对W掺杂ZnO薄膜结构及光学性能的影响

郭胜利;胡跃辉;胡克艳;陈义川;范建彬;徐承章;童帆

景德镇陶瓷学院机械电子工程学院,景德镇,333403

出版日期:2016-04-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家自然科学基金(61066003,61464005);江西省发明专利产业化技术示范项目(20143BBM26051);江西省对外合作项目(20132BDH80025);江西省自然科学基金(20132BAB202001);江西省主要学科学术和技术带头人培养计划项目(20123BCB22002);江西省高等学校科技落地计划(KJLD12085);江西省教育厅科技资助项目(GJJ12494,GJJ13643,GJJ13625);江西省研究生创新基金项目(YC2014-S315)

Effect of Sputtering Pressure on Structure and the Optical Properties of WZO Films Deposited by RF Magnetron Sputtering

GUO Sheng-li;HU Yue-hui;HU Ke-yan;CHEN Yi-chuan;FAN Jian-bin;XU Cheng-zhang;TONG Fan

Online:2016-04-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 在不同溅射压强下,通过射频(RF)磁控溅射在石英玻璃衬底上沉积得到W掺杂ZnO薄膜(WZO).对样品的结晶性能,表面形貌和光学性能进行测试分析,结果表明:在适当溅射压强下,薄膜具有良好的结晶性和光学性能.随着溅射压强的增加,薄膜的结晶性先变好后变差,晶粒尺寸先增大后减小,在1.0 Pa时薄膜的结晶性最好,且晶粒尺寸最大,约为32 nm;所有WZO薄膜样品的平均透光率超过80;;光致发光主要由本征发光和缺陷引起的蓝光发光组成,在1.0Pa时薄膜还有明显的Zn;缺陷,在1.2Pa时薄膜有明显的Oi缺陷.

中图分类号:

O484.1

郭胜利;胡跃辉;胡克艳;陈义川;范建彬;徐承章;童帆. 溅射压强对W掺杂ZnO薄膜结构及光学性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2016, 45(4): 1126-1130.

GUO Sheng-li;HU Yue-hui;HU Ke-yan;CHEN Yi-chuan;FAN Jian-bin;XU Cheng-zhang;TONG Fan. Effect of Sputtering Pressure on Structure and the Optical Properties of WZO Films Deposited by RF Magnetron Sputtering[J]. JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS, 2016, 45(4): 1126-1130.

[1]	沈波;杨学林;许福军. 氮化物宽禁带半导体的MOCVD大失配异质外延[J]. 人工晶体学报, 2020, 49(11): 1953-1969.
[2]	王珣;汪莱;郝智彪;罗毅;孙长征;韩彦军;熊兵;王健;李洪涛. GaN基三维结构生长与器件应用[J]. 人工晶体学报, 2020, 49(11): 1984-1995.
[3]	杨启鸣;杨雯;段良飞;姚朝辉;杨培志. 单晶硅外延生长晶化硅薄膜的研究[J]. 人工晶体学报, 2017, 46(12): 2337-2342.
[4]	李琦;蒋志;杨剑;杨敏;陆熠磊;刘思佳;徐信;王书荣. 硫化温度-时间曲线对铜锌锡硫薄膜性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2017, 46(9): 1720-1727.
[5]	贾辉;石璐珊;黄鑫;叶太兵. 衬底的Al化处理对AlN性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2017, 46(8): 1540-1544.
[6]	邓泉荣;李义奇;陈恋;王升高;王戈明. 镓掺杂对二氧化钛薄膜光吸收性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2016, 45(8): 2156-2159.
[7]	李志山;王书荣;蒋志;杨敏;陆熠磊;刘思佳;赵其琛;郝瑞亭;杨培志. 不同硫化温度对Cu2ZnSnS4薄膜质量及太阳能电池性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2016, 45(7): 1948-1953.
[8]	陈燕;佘秋明;吴爱林;宋新山;宋志棠;姚栋宁;吴良才. 原子层沉积与磁控溅射法制备TiO2薄膜性能对比研究[J]. 人工晶体学报, 2016, 45(6): 1555-1559.
[9]	李新利;李丽华;马战红;黄金亮;任凤章. 室温下快速合成均质大颗粒有机-无机杂化钙钛矿薄膜[J]. 人工晶体学报, 2016, 45(5): 1365-1369.
[10]	黄建华;刘怀周. ITO/BZO复合薄膜制备及在非晶硅薄膜太阳能电池的应用[J]. 人工晶体学报, 2016, 45(2): 515-519.
[11]	黄建华;刘怀周. B掺杂量对LPCVD生长大面积ZnO透明导电薄膜性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2016, 45(1): 236-240.
[12]	蒋志;李志山;杨敏;刘思佳;刘涛;郝瑞亭;王书荣. 单质靶溅射制备CZTS薄膜及太阳电池[J]. 人工晶体学报, 2015, 44(12): 3582-3587.
[13]	王秀娟;司嘉乐;杨德林;谷锦华;卢景霄. 射频磁控溅射低温制备ITO薄膜[J]. 人工晶体学报, 2015, 44(6): 1516-1522.
[14]	李新利;马战红;任凤章;许荣辉;柳勇. 微晶硅薄膜表面粗糙度的演化过程分析[J]. 人工晶体学报, 2014, 43(9): 2384-2388.
[15]	谢清连;黄国华;张振;岳宏卫;谢秀平;黄自谦;王向红;张晶;李建映. 热分解工艺对溶胶-凝胶法制备Tl-2212超导薄膜特性的影响[J]. 人工晶体学报, 2014, 43(5): 1174-1178.