多孔硅基WO3气敏传感器的制备与性能研究

人工晶体学报 ›› 2016, Vol. 45 ›› Issue (7): 1865-1870.

多孔硅基WO3气敏传感器的制备与性能研究

武雅乔;胡明;魏杏;田玉明

太原科技大学材料科学与工程学院,太原,030024;天津大学电子信息工程学院,天津,300072

出版日期:2016-07-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家自然科学基金(61271070)

Study on Preparation and Properties of Porous Silicon/WO3 Gas Sensor

WU Ya-qiao;HU Ming;WEI Xing;TIAN Yu-ming

Online:2016-07-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 以钨酸钠和氯化钠为原料,采用水热法在硅基多孔硅上原位生长WO3纳米棒薄膜,制成p型多孔硅基-n型WO3复合结构气敏传感器.为了获得最大比表面积的复合形貌,详细研究了水热反应时间和温度对多孔硅基WO3复合结构显微组织表面形貌的影响.利用扫描电镜、粉末衍射等表征手段测试并分析了多孔硅基表面WO3纳米棒薄膜的形貌以及晶体结构,并测试了复合结构传感器在不同工作温度下的气敏响应特性,结果表明:该气敏传感器在室温下便对有毒气体NO2具有高灵敏度以及稳定的重复性.

中图分类号:

TM23

武雅乔;胡明;魏杏;田玉明. 多孔硅基WO3气敏传感器的制备与性能研究[J]. 人工晶体学报, 2016, 45(7): 1865-1870.

WU Ya-qiao;HU Ming;WEI Xing;TIAN Yu-ming. Study on Preparation and Properties of Porous Silicon/WO3 Gas Sensor[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2016, 45(7): 1865-1870.

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