磁控溅射工艺参数对碳膜表面形貌及浸润性的影响

人工晶体学报 ›› 2019, Vol. 48 ›› Issue (2): 344-351.

磁控溅射工艺参数对碳膜表面形貌及浸润性的影响

王孝锋;侯大寅;徐珍珍;徐文正;杨莉

安徽工程大学纺织服装学院,芜湖,241000

出版日期:2019-02-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
安徽省科技厅对外国际合作项目(1704e1002213);"纺织面料"安徽省高校重点实验室基金(2018AKLTF10);校级国家科学基金预研项目(2017yyzr05)

Effect of Magnetron Sputtering Process Parameters on Surface Morphology and Wettability of Carbon Film

WANG Xiao-feng;HOU Da-yin;XU Zhen-zhen;XU Wen-zheng;YANG Li

Online:2019-02-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 为了分析磁控溅射工艺对碳膜表面形貌及浸润性的影响,在室温下采用磁控溅射技术在硅片表面沉积碳膜,并利用原子力显微镜(AFM)、扫描电镜(SEM)、静态接触角测量仪对所得碳膜进行表征.结果表明:随着溅射功率的提高,碳膜表面粗糙度先减小后增大,致密性逐渐改善,静态接触角先增大后减小;随着溅射时间的延长,碳膜的表面粗糙度逐渐增加,均匀性在一定的溅射时间内逐渐改善,静态接触角呈现先减小后增大再减小的趋势;随着溅射压强的增加,碳膜表面粗糙度先增大后减小,致密性在过高的溅射压强下会变差,静态接触角先减小后增大.

中图分类号:

TQ127.1

王孝锋;侯大寅;徐珍珍;徐文正;杨莉. 磁控溅射工艺参数对碳膜表面形貌及浸润性的影响[J]. 人工晶体学报, 2019, 48(2): 344-351.

WANG Xiao-feng;HOU Da-yin;XU Zhen-zhen;XU Wen-zheng;YANG Li. Effect of Magnetron Sputtering Process Parameters on Surface Morphology and Wettability of Carbon Film[J]. JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS, 2019, 48(2): 344-351.

[1]	吕超凡, 臧金浩, 杨西贵, 单崇新. 新型功能碳材料的高压截获[J]. 人工晶体学报, 2022, 51(5): 875-880.
[2]	庞国旺, 刘晨曦, 潘多桥, 史蕾倩, 张丽丽, 雷博程, 赵旭才, 黄以能, 汤哲. 非金属元素(F, S, Se, Te)掺杂对ZnO/graphene肖特基界面电荷及肖特基调控的理论研究[J]. 人工晶体学报, 2022, 51(4): 628-636.
[3]	苗中正. TiCl₄分子填充扶手椅型碳管的条件控制及光电性能理论研究[J]. 人工晶体学报, 2022, 51(2): 324-332.
[4]	周宇, 陈晓娟, 卢开红, 陈杰明, 李宁, 张兴华. 生物质炭的制备、功能改性及去除废水中有机污染物研究进展[J]. 人工晶体学报, 2021, 50(12): 2389-2400.
[5]	王梦;潘红艳;杨春亮;贾双珠;许值铭;王贤书;史永永;林倩. 原位氮掺杂大孔径介孔碳材料的制备及表征[J]. 人工晶体学报, 2019, 48(9): 1726-1733.
[6]	丁开翔;孙保民;郭永红;贾小伟;王阳;康志忠. 催化剂焙烧温度和乙炔焰温度对火焰法催化裂解乙烯制备碳纳米管的影响[J]. 人工晶体学报, 2016, 45(1): 41-46.
[7]	丁开翔;孙保民;王阳;郭永红;康志忠. 取样时间和碳源气体流量对火焰法催化裂解乙烯制备碳纳米管的影响[J]. 人工晶体学报, 2015, 44(6): 1619-1624.
[8]	郭永红;姜鹏;王阳;丁开翔;孙保民. 气体流量对热解火焰法合成碳纳米管的影响[J]. 人工晶体学报, 2014, 43(11): 2830-2834.
[9]	姜鹏;孙保民;王阳;郭永红;罗九天. 热解火焰法制备碳纳米管:氧炔焰温度与取样高度的影响[J]. 人工晶体学报, 2014, 43(8): 2011-2015.
[10]	麻华丽;霍海波;曾凡光;向飞;王淦平. 两种微结构阵列上碳纳米管薄膜强流脉冲发射比较[J]. 人工晶体学报, 2014, 43(8): 2098-2101.
[11]	许斌;吕美哲;田彬;范小红;温振兴. 超高压高温下石墨向金刚石直接转变的EET理论分析[J]. 人工晶体学报, 2013, 42(12): 2509-2514.
[12]	刘铭;霍冀川;刘树信. EDTA对超临界二氧化碳法制备碳酸钡粒子形貌影响的研究[J]. 人工晶体学报, 2012, 41(3): 742-746.
[13]	刘远超;孙保民;赵惠富;丁兆勇;贾斌. V型热解火焰合成碳纳米管的影响因素研究与分析[J]. 人工晶体学报, 2009, 38(6): 1506-1510.
[14]	孙雷;沈鸿烈;李金泽;吴天如;丁古巧;朱云;谢晓明. 低熔点合金衬底上CVD法生长石墨烯[J]. 人工晶体学报, 2013, 42(12): 2589-2594.
[15]	喻梦颖;朱敏颖;陈瀛;谢冰桥;晏秋云;张珊珊;芦露华;陈敬中. 含氮多孔碳的制备及其电化学性能研究[J]. 人工晶体学报, 2016, 45(3): 697-703.