导模法(EFG)生长大尺寸厚壁管状蓝宝石单晶

人工晶体学报 ›› 2019, Vol. 48 ›› Issue (7): 1214-1215.

导模法(EFG)生长大尺寸厚壁管状蓝宝石单晶

罗平;王庆国;董建树;王东海;吴锋;唐慧丽;徐军

同济大学物理科学与工程学院,上海200092;南京同溧晶体材料研究院,南京211212;同济大学物理科学与工程学院,上海,200092

出版日期:2019-07-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
上海蓝宝石单晶工程技术研究中心(14DZ2252500);国家重点研发计划项目(2016YFB1102202)

Growth of Sapphire Tube with Large Size by EFG Method

LUO Ping;WANG Qing-guo;DONG Jian-shu;WANG Dong-hai;WU Feng;TANG Hui-li;XU Jun

Online:2019-07-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用自行设计的导模法蓝宝石长晶装备,通过优化模具设计和长晶工艺,成功生长了内/外径分别为31/58 mm和50/65 mm,长度超过300 mm的大尺寸厚壁蓝宝石单晶圆管,无开裂多晶,无肉眼可见气泡,晶体质量优良.

中图分类号:

O782

罗平;王庆国;董建树;王东海;吴锋;唐慧丽;徐军. 导模法(EFG)生长大尺寸厚壁管状蓝宝石单晶[J]. 人工晶体学报, 2019, 48(7): 1214-1215.

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