CVD样品台旋转对沉积金刚石涂层的影响

人工晶体学报 ›› 2019, Vol. 48 ›› Issue (10): 1879-1885.

CVD样品台旋转对沉积金刚石涂层的影响

邓福铭;薄祥;许晨阳;郝岑;王双;郭振海;解亚娟

中国矿业大学(北京)机电与信息工程学院,北京100083;中国矿业大学(北京)超硬刀具材料研究所,北京100083;中国矿业大学(北京)机电与信息工程学??北京,100083

出版日期:2019-10-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
北京市自然科学联合基金(15L00025);国家自然科学基金(51172278);北京市财政共建项目(2017-03)

Effect of Sample Rotation on Chemical Vapor Deposition Diamond Coatings

DENG Fu-ming;BO Xiang;XU Chen-yang;HAO Cen;WANG Shuang;GUO Zhen-hai;XIE Ya-juan

Online:2019-10-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 以CH3COCH3和H2为反应气源,利用热丝化学气相沉积(HFCVD)方法,通过改变样品台的旋转频率在YG6硬质合金(WC-6wt; Co)基体上沉积金刚石涂层.利用X射线衍射分析YG6硬质合金表面沉积金刚石涂层物相,通过扫描电子显微镜和压痕试验机分析金刚石涂层的表面形貌、沉积厚度和膜基结合性能,考察了样品台旋转频率对沉积金刚石涂层结构与性能的影响,以确定最佳的样品台旋转频率.结果表明,在固定沉积工艺参数条件下,当样品台的旋转频率为2次/h时,在YG6硬质合金基体上沉积的金刚石涂层具有较优的晶粒和更均匀致密的聚晶结构以及更高的膜-基结合力.

中图分类号:

TB43

邓福铭;薄祥;许晨阳;郝岑;王双;郭振海;解亚娟. CVD样品台旋转对沉积金刚石涂层的影响[J]. 人工晶体学报, 2019, 48(10): 1879-1885.

DENG Fu-ming;BO Xiang;XU Chen-yang;HAO Cen;WANG Shuang;GUO Zhen-hai;XIE Ya-juan. Effect of Sample Rotation on Chemical Vapor Deposition Diamond Coatings[J]. JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS, 2019, 48(10): 1879-1885.

[1]	周慎敏, 张宇. As₄₀Se₆₀硫系玻璃基底薄膜制备与应力分析[J]. 人工晶体学报, 2023, 52(8): 1540-1547.
[2]	段超, 李坤, 高岗, 杨磊, 徐梁格, 浩钢, 朱嘉琦. 原子层沉积及其在透明导电薄膜领域的研究与应用[J]. 人工晶体学报, 2023, 52(6): 1052-1066.
[3]	刘丽华, 赵晶晶, 秦彬皓, 杨为家, 王海燕. 射频溅射功率对Mn-Co-Ni-O薄膜结构与性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2022, 51(8): 1361-1369.
[4]	杨欣蕾, 弥谦, 龚立榕, 周凤琳. 圆筒式柱面磁控溅射靶的磁场设计与仿真研究[J]. 人工晶体学报, 2021, 50(9): 1765-1773.
[5]	郑彧, 张怡, 童亚琦, 玄真武. 掺硼金刚石膜研究进展及应用[J]. 人工晶体学报, 2021, 50(6): 1138-1148.
[6]	胡浩威;井津域;李钦;宋忠孝. SiNX覆盖层厚度对非晶In-Ga-Zn-O薄膜退火晶化的影响研究[J]. 人工晶体学报, 2019, 48(5): 907-912.
[7]	丁泽良;张诗淼;王双雄;林长生;周枫林. Al2O3膜层制备参数对SiO2/Al2O3/PET复合膜透湿性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2017, 46(10): 1946-1950.
[8]	朱彦旭;王岳华;宋会会;邹德恕;李莱龙;石栋. 溅射制备不同厚度Pb(Zr0.52Ti0.48)O3薄膜结晶态的研究[J]. 人工晶体学报, 2017, 46(6): 1002-1008.
[9]	樊志琴;何源源;李瑞. 磁控溅射Cu薄膜的光电性能研究[J]. 人工晶体学报, 2017, 46(6): 1072-1077.
[10]	霍海波;杨卫飞;麻华丽;丁佩;曾凡光. 3D型冷阴极结构形态对场发射影响研究[J]. 人工晶体学报, 2017, 46(6): 1138-1142.
[11]	祝祖送;朱德权;邱俊;易明芳;张杰;闻军. 化学气相沉积单层VIB族过渡金属硫化物的研究进展[J]. 人工晶体学报, 2017, 46(6): 1175-1183.
[12]	霍海波;麻华丽;丁佩;曾凡光. 基于有限元轴对称分析的碳纳米管场增强因子建模与计算[J]. 人工晶体学报, 2014, 43(12): 3290-3294.
[13]	张胜男;朱宁;陈凯玉;张瑜. 维生素B6在修饰掺硼金刚石薄膜电极上的测定[J]. 人工晶体学报, 2014, 43(6): 1460-1464.
[14]	张廷飞;芶立;陈虹运. 硬质合金球上纳米金刚石膜的形貌与力学性能[J]. 人工晶体学报, 2013, 42(6): 1016-1020.
[15]	徐锋;左敦稳;张旭辉;户海峰;王珉. 偏压对磁控溅射沉积立方氮化硼薄膜的影响[J]. 人工晶体学报, 2012, 41(4): 853-857.