三层SiNx-SiNx-SiO2减反射膜对多晶硅太阳电池性能的影响

人工晶体学报 ›› 2020, Vol. 49 ›› Issue (3): 521-525.

三层SiNx-SiNx-SiO2减反射膜对多晶硅太阳电池性能的影响

马新尖

拉萨师范高等专科学校信息技术系,拉萨,850000

出版日期:2020-03-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
西藏自治区自然科学基金(XZ2017ZRG-105)

Effect of Three-layer SiNx-SiNx-SiO2 Anti-reflection Films for Polycrystalline Silicon Solar Cells Performance

MA Xijian

Online:2020-03-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 本文分析了双层SiNx-SiNx减反射膜和带有氧化层的三层SiNx-SiNx-SiO2减反射膜对多晶硅太阳电池性能的影响.模拟结果表明,增加了氧化层的三层SiNx-SiNx-SiO2减反射膜多晶硅太阳电池电学输出特性优于双层SiNx-SiNx减反射膜多晶硅太阳电池.实验分析表明,三层SiNx-SiNx-SiO2减反射膜反射率略高于双层SiNx-SiNx减反射膜反射率,增加了氧化层的三层SiNx-SiNx-SiO2减反射膜多晶硅太阳电池具有更好的钝化效果,使得其光电转化效率有所增加.

中图分类号:

TM914.4+1

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