欢迎访问《人工晶体学报》官方网站,今天是 分享到:

人工晶体学报 ›› 2020, Vol. 49 ›› Issue (11): 1984-1995.

所属专题: 宽禁带半导体晶体与器件

• • 上一篇    下一篇

GaN基三维结构生长与器件应用

王珣;汪莱;郝智彪;罗毅;孙长征;韩彦军;熊兵;王健;李洪涛   

  1. 清华大学电子工程系,北京国家信息科学技术研究中心,北京 100084
  • 出版日期:2020-11-15 发布日期:2021-01-20
  • 基金资助:
    (国家重点研发计划)%(国家自然科学基金)

Growth and Device Application of GaN Three-Dimensional Structure

WANG Xun;WANG Lai;HAO Zhibiao;LUO Yi;SUN Changzheng;HAN Yanjun;XIONG Bing;WANG Jian;LI Hongtao   

  • Online:2020-11-15 Published:2021-01-20

摘要: 目前,c面氮化镓(GaN)基发光二极管的制备技术已经十分成熟并取得了商业化成功,但仍面临极化电场导致的大电流密度下效率下降(Droop效应)和黄绿光波段效率低的问题.为消除极化电场的影响,人们开始关注半极性和非极性面GaN.其中,基于传统极性面衬底通过三维结构生长来获得半极性和非极性GaN的方法,由于其低成本和生长的灵活性,受到了广泛研究.本文首先总结了三种GaN三维结构的制备方法并分析其生长机理.接着,在此基础上介绍了不同晶面InGaN量子阱的外延生长和发光特性.最后,列举了GaN基三维结构在半极性面LED、颜色可调LED和无荧光粉白光发光二极管方面的应用.

关键词: 氮化镓;发光二极管;三维结构;无荧光粉白光;效率下降

中图分类号: