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人工晶体学报 ›› 2020, Vol. 49 ›› Issue (11): 2038-2045.

所属专题: 宽禁带半导体晶体与器件

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氮化镓单晶衬底制备技术发展与展望

姜元希;刘南柳;张法碧;王琦;张国义   

  1. 桂林电子科技大学信息与通信学院,桂林 541004;北京大学东莞光电研究院,东莞 523808%北京大学东莞光电研究院,东莞 523808%桂林电子科技大学信息与通信学院,桂林 541004
  • 出版日期:2020-11-15 发布日期:2021-01-20
  • 基金资助:
    (国家自然科学基金面上项目)%(广东省重点领域研发计划)%(广东省区域联合基金重点项目)

Development and Trends of GaN Single Crystal Substrate Fabrication Technology

JIANG Yuanxi;LIU Nanliu;ZHANG Fabi;WANG Qi;ZHANG Guoyi   

  • Online:2020-11-15 Published:2021-01-20

摘要: 氮化镓(GaN)是第三代半导体材料中的典型代表.因其良好的物理化学性能与热稳定特性,是制作光电子器件及电力电子器件的理想材料.采用同质外延技术在GaN单晶衬底上制备GaN基器件是实现其高性能的根本途径.本文综述了GaN单晶衬底制备的氢化物气相外延技术、三卤化物气相外延技术、氨热法及助熔剂法(钠流法)的研究进展,并对未来可能的发展方向提出了展望.

关键词: 氮化镓;单晶衬底;同质外延;氨热法;钠流法

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