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双靶反应磁控溅射共沉积AlN薄膜粘结性能研究
朱家俊;周灵平;刘新胜;彭坤;李德意;李绍禄
Study on the Adhesion of AlN Thin Films Co-deposited by Dual Targets Reactive Magnetron Sputtering
人工晶体学报 . 2010, (1): 77 -81 . 

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