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ECR-PECVD制备n型微晶硅薄膜的研究
张学宇;吴爱民;冯煜东;胡娟;岳红云;闻立时
Preparation of n-type Microcrystal Si: H Films by ECR-PECVD
ZHANG Xue-yu;WU Ai-min;FENG Yu-dong;HU Juan;YUE Hong-yun;WEN Li-shi
人工晶体学报 . 2010, (4): 852 -856 . 

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