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纳米晶粒多晶Si薄膜的低压化学气相沉积
彭英才;马蕾;康建波;范志东;简红彬
Low Pressure Chemical Vapor Deposition of Nanograin Polysilicon Thin Films
PENG Ying-cai;MA Lei;KANG Jian-bo;FAN Zhi-dong;JIAN Hong-bin
人工晶体学报 . 2006, (
3
): 560 -564 .
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