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孪生对靶直流磁控溅射制备ZnO:Al薄膜及其特性研究
李微;孙云;何青;刘芳芳;李凤岩
Physical Properties of ZnO:Al Films by DC Magnetron Sputtering with Facing Targets
LI Wei;SUN Yun;HE Qing;LIU Fang-fang;LI Feng-yan
人工晶体学报 . 2006, (
4
): 761 -764 .