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高质量半绝缘Φ150mm 4H-SiC单晶生长研究
彭燕;陈秀芳;彭娟;胡小波;徐现刚
Study on the Growth of High Quality Semi-Insulating Φ150 mm 4H-SiC Single Crystal
PENG Yan;CHEN Xiu-fang;PENG Juan;HU Xiao-bo;XU Xian-gang
人工晶体学报 . 2016, (
5
): 1145 -1152 .