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2025年6月17日 星期二
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衬底的Al化处理对AlN性能的影响
贾辉;石璐珊;黄鑫;叶太兵
Effect of Al Pre-treatment to Substrate on the Properties of AlN
JIA Hui;SHI Lu-shan;HUANG Xin;YE Tai-bing
人工晶体学报 . 2017, (
8
): 1540 -1544 .
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